集微网消息，奥松电子官方消息显示，广州奥松电子有限公司（简称“奥松电子”）6英寸MEMS半导体传感器芯片生产线正式投入运营，成功量产出温湿度、气体等传感器芯片，该生产线的建成投产标志奥松电子成为华南地区领先的MEMS半导体传感器芯片生产基地。
图片来源：奥松传感
据介绍，奥松电子MEMS半导体生产线一期工程为500纳米MEMS半导体工艺制程，已成功量产出温湿度传感器、空气质量传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器等多款优质的芯片产品。
3月，该生产线一期工程立项，6月正式进入施工阶段。经过6个月的施工，生产线的基础设施已安装完成。
，多台步进式投影光刻机、双面光刻机、涂胶显影机、深硅刻蚀机、大束流离子注入机、PECVD、LPCVD、氧化炉、磁控溅射机、探针台、应力测试仪、全自动RCA清洗机等先进的自动化生产设备搬入，生产线正式投入运营。此外，根据规划，生产线二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线；三期工程将建成180纳米制程工艺MEMS半导体生产线；总项目全部建成投产后，每月流片规模将达到4万片。奥松电子成立于9月，是全球少数具有MEMS半导体智能传感器全产业链（IDM）的公司之一，主营产品有温湿度传感器、气体传感器、流量传感器、差压传感器、水蒸气传感器等。（校对/LL）
